刘玄更始(23年)政权建立后,隗嚣叔父隗崔、兄隗义及上(今甘肃天水市)人杨广、冀县(今甘肃甘谷县)人周宗等合谋起义,响应刘玄,兴汉灭莽。隗嚣趁机占领平襄(今甘肃通渭县),杀了王莽的镇戎郡(今甘肃天水一带,治平襄)大尹。因隗嚣“素有名,好经书”,推为上将军。从此隗嚣成了割据一方的势力。
隗嚣建立割据势力后,听从军师方望的主张,以“承天顺民,辅汉而起”为宗旨,号召人民讨伐王莽,并修高祖庙,盟势效忠汉室。刘玄更始元年(23)7月,隗嚣诸将领向各州牧、部监、郡国发布檄文,列举王莽罪状,共同谋伐。于是隗嚣兴兵十万,攻占雍州,安定,杀死州牧陈庆,大尹王向等。此时,长安汉将起兵杀了王莽。隗嚣趁势先后攻占了陇西、武都、金城(今甘肃兰州)、武威、张掖、酒泉、敦煌等郡县。更始二年,隗嚣归顺刘歆,封为右将军。这年冬天,隗崔、隗义合谋反叛,隗嚣告密,刘玄感其大义灭亲,封为御史大夫。
东汉光武帝刘秀即位(25)后,隗嚣劝刘玄东归刘秀,刘玄末同意。隗嚣与诸将欲挟持东归末遂,于是逃回天水,自称西州大将军,重新招兵买马。由于他“谦爱士卒,倾身引接为布衣交,”所以“三辅老士大夫”纷纷投奔于他。其中有很有名望的马援、班彪等人,一时将士云集,隗嚣“名震西州,闻于山东。”光武建武二年(26),大司徒邓禹镇压赤眉起义军,邓禹的裨将冯揞带兵逃叛西向天水,隗嚣出兵阻击缴获辎重马匹甚多,并得到邓禹的信任,被封为西州大将军,所以又得到光武帝的嚣重。这时,吕鲔拥兵百万,与公孙述多次进犯汉中,并派使者拉拢隗嚣归蜀,隗嚣杀使者连破公孙述。光武帝为统一天下,要隗嚣讨蜀,隗嚣以“三辅单弱,蜀道难行”为借口拒绝出兵。
建武五年(29),光武帝曾多次派隗嚣的故友来歙、马援去劝其人朝,并“许以重爵。”隗嚣认为天水是富饶之地,兼为河西、上郡、三辅之地,可进可守。于是他屡以自己为朝廷无功,待四方平定,即回闾里为由谢辞。但为了取信光武,将自己的儿子隗恂送去人质。建武六年(30),公孙述派兵进犯南郡(今湖北江陵),光武帝下诏隗嚣从天水讨伐蜀地,隗嚣又以“白水险阻,栈阁绝败”为借口而末出兵。光武帝知隗嚣终不为他用,于是派建威大将军耿龠等七将军从陇道伐蜀,意在灭隗嚣。隗嚣部将王元据守陇坻,伐木塞道,但终寡不敌众。隗嚣觉形势不利,便向光武帝上书请罪,将责任下推,光武帝宽容了他。隗嚣又怕光武帝识破他,于是暗中称臣公孙述,以留后路。建武七年(31),公孙述封隗嚣为朔宁王,他们之间常派兵援助。
建武八年(32)春天,光武帝派来歙袭取了略阳(今甘肃秦安陇城镇)。隗嚣派王元据守番须口,王孟塞鸡头道,牛邯驻瓦亭。他亲率大兵数万包围略阳,公孙述也派部将李育、田龠援助。隗嚣斩山筑堤,积水淹城,来歙与将士固死坚守,自春至秋,连月不下,士卒都已疲惫。于是光武帝御驾亲征,势不可挡,隗嚣携家奔西城(今天水市西南)。后光武帝诏告隗嚣,隗嚣始终不投降。光武帝杀死人质隗恂,并派吴汉和征南大将军岑彭包围西城,耿龠与虎牙大将军包围上(今天水市)。隗嚣被困数月后,公孙述援军5000人马诈称百万至陇上。汉军大惊,王元等趁救出隗嚣,收复了安定、北地、天水、陇西诸郡。建武九年(33),隗嚣病故。王元等立隗嚣少子隗纯为王。翌年汉军来歙攻破洛门,势逼陇上,隗纯和其部将全部投降,从此结束了陇右隗氏的统治。